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日立透射电子显微镜 H-9500

简要描述:原子分辨率300 kV透射电子显微镜 在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。 为了满足这种需求,日立公司研发出了透射电子显微镜 H-9500,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优*性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独*功能,并采用了新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信

  • 产品型号: H-9500
  • 厂商性质:
  • 更新时间:2022-9-28
  • 访  问  量:474
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原子分辨率300 kV透射电子显微镜 在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。 为了满足这种需求,日立公司研发出了透射电子显微镜 H-9500,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优*性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独*功能,并采用了新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信

原子分辨率300 kV透射电子显微镜

在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。

为了满足这种需求,日立公司研发出了透射电子显微镜 H-9500,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优*性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独*功能,并采用了新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

用户友好型的操作系统

·和Windows®兼容的图形用户界面设计

·快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)

高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

·点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm

·稳定可靠的5轴优中心测角台

性能好,可靠性高

·得到市场验证的10级加速器电子枪设计

·阻抗式高压电缆设计

*档可选附件

·通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用

·可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆

技术参数

项目说明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(点分辨率)
加速电压300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000×
选区模式4,000~500,000×
低倍模式200~500×
电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
灯丝交换自动升降式电子枪
高压电缆阻抗电缆
照射系统透镜四级透镜
聚光镜光阑4孔可变
探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4级)
纳米束模式:1 - 10 nm(4级)
电子束倾斜±3°
成像系统透镜五级透镜
聚焦图像摇摆调整
利用像散监视器进行正焦补偿
聚焦优化
物镜光阑4孔可变光阑
选区光阑4孔可变光阑
电子衍射 选区电子衍射
纳米探针电子衍射
会聚束电子衍射
相机长度250 - 3,000 mm
样品室样品台5轴优中心海帕测角台
样品尺寸3mmΦ
样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm
通过CPU控制马达驱动
样品位置显示自动驱动,自动跟踪
样品倾斜α = ±15°, β = ±15°
(日立双倾样品台*2)
防污染冷阱
烘烤功能中温烘烤功能
观察室荧光屏主屏:110 mmΦ
聚焦屏:30 mmΦ
目镜7.5×
照相室区域选择整张照相/半张曝光
胶片25张(2套胶片盒)
图形用户界面 操作系统:Windows XP®
显示器19英寸显示器
功能数据库,测量,图像处理
数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合
有x像素1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率12位
真空系统电子枪离子泵:60 L/s
镜筒涡轮分子泵:260 L/s
观察室/照相室扩散泵:280 L/s
前级泵:135 L/min × 3台

*1:放大倍率校准为可选项

 

*2:可选件

 

*3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机以上规格是在加速电压为300 kV时的*诺

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