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球差场发射透射电子显微镜 HF5000

简要描述:Hitachi's日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM:成像分辨率和分析性能的完*结合 在单个物镜配置中,STEM可实现0.078 nm的空间分辨率,并具有较高的样品倾斜能力和大立体角EDX检测器。 将这些积累的技术整合到一个新的200 kV TEM / STEM平台中,可以使仪器具有亚Å成像和分析的*佳组合,并具有灵活性和*特的能HF

  • 产品型号: HF5000
  • 厂商性质:
  • 更新时间:2022-9-28
  • 访  问  量:563
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Hitachi's日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM:成像分辨率和分析性能的完*结合 在单个物镜配置中,STEM可实现0.078 nm的空间分辨率,并具有较高的样品倾斜能力和大立体角EDX检测器。 将这些积累的技术整合到一个新的200 kV TEM / STEM平台中,可以使仪器具有亚Å成像和分析的*佳组合,并具有灵活性和*特的能HF

 

Hitachi's日立*特的200 kV像差校正TEM / STEM:成像分辨率和分析性能的完*结合
在单个物镜配置中,STEM可实现0.078 nm的空间分辨率,并具有较高的样品倾斜能力和大立体角EDX检测器。
将这些积累的技术整合到一个新的200 kV TEM / STEM平台中,可以使仪器具有亚Å成像和分析的*佳组合,并具有灵活性和*特的能HF5000以日立HD-2700专ySTEM的功能为基础,包括日立自己的全自动像差校正器,对称双SDD EDX和Cs校正的SE成像。 它还结合了HF系列中开发的xian进TEM / STEM技术。

 

产品特点
1.标配日立生产的照射系统球差校正器(附自动校正功能)
2.搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
3.镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
4.观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
5.采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
6.支持高立体角EDX*的对称配置(对称Dual SDD*)
7.采用*新构造的机体外壳盖
8.配备日立生产的高性能样品杆*

 

高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器
以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础,进行优化,进yi步实现电子枪的高度稳定性。
此外,还更新了镜体,电源系统和样品台,以支持观察亚Å图像,并提升了机械和电气稳定性,然后与日立公司的球差校正器结合使用。
不仅可以稳定地获得更高亮度更精密的探头,而且自动像差校正功能可以实现快速校正,从而易于发挥设备的固有性能。使像差校正可以更实用。

 

Si(211)单晶体HAADF-STEM图像(左)和图像强度曲线分布(右下)、FFT功率谱(右上)
支持高立体角EDX*的对称Dual SDD*
支持双重配置100 mm2 SDD检测器,以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。
由于第er检测器位于第*检测器的对面位置,因此,几乎不会因为样品倾斜,导致X射线中的信号检测量发生变化。所以,即使是结晶性样品,也不用顾忌信号量,可*全按照样品的方向与位置进行元素分析。
此外,对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品,除了原子列映射,在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有x。

 

GaAs(110)的原子柱EDX映射
像差校正SEM图像/STEM图像 同时观察
配有标配er次电子检测器,可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构,可以掌握样品的三维构造。
在像差校正SEM图像中,除了可以通过校正球差来提高分辨率之外,还可以获取更真实地样品表面图像。

Au/CeO2催化剂的SEM/ADF-/BF-STEM图像(上段)和Au粒子的高分辨率图像(下段)

技术参数

项目内容
电子源W(310)冷阴极场发射型
加速电压200 kV、60 kV*1
图像分辨率STEM0.078 nm(ADF-STEM图像)
TEM0.102 nm(晶格像)
倍率STEM×20~×8,000,000
TEM×100~×1,500,000
样品微动样品台偏心测角仪(Eucentric Goniometer)5轴样品台
样品尺寸3 mm Φ
移动范围X, Y=±1.0 mm,Z=±0.4 mm
样品倾斜α=±25°、β=±35°(日立2轴倾斜样品杆*1
像差校正器配有日立照射系统球面像差校正器(标配)
图像显示PCWindows® 7 *2
显示器27英寸宽屏液晶显示器(机体控制显示器、第er显示器*1
摄像头标配伸缩式摄像头
屏幕摄像头*1(用于荧光板观察)

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