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日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100

简要描述:Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。产品特点 1.沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2 2.采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加

  • 产品型号:Regulus8100
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  • 更新时间:2022-9-28
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日立高分辨冷场发射扫描电镜Regulus8100


Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜系列,Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点,进一步提高性能,1kV减速模式下*高分辨率达到了0.8nm,15kV达到0.7nm,高低电压均可满足高分辨的观察。

产品特点

1.沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2

2.采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间,使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的*佳性能;

3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV);

4.采用污染小、高真空样品仓;

5.运用能量过滤器(选配),可观察到多种成分对比度*2

应用领域

1、纳米材料;

2、半导体器件;

3、高分子材料;

4、生物医学;
5、新能源。

技术参数

项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率0.7 nm(加速电压15 kV)0.8 nm(着陆电压1 kV)*30.6 nm(加速电压 15 kV) 0.7 nm(着陆电压 1 kV)*3
着陆电压0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
样品台样品台控制3轴马达台(可选5轴马达台)5轴马达驱动
移动范围X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再现性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

*3减速模式下观察
*4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍

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